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MEMS集成设计技术及应用
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MEMS材料与工艺手册
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MEMS技术与应用
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MEMS可靠性/微纳系统系列译丛书
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GB/T 38341-2019 微机电系统(MEMS)技术MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
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