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SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳

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立即下载 氧化碳 气体 电子工业
简介
SJ/T 11517-2015
电子工业用气体 一氧化碳
Gases for electronic industry-Carbon monoxide
2015 - 04 - 30 发布
2015-10- 01 实施
前 言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（SAC/TC203/SC1）归口

 

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