超精密机床气浮导轨的气体润滑研究

文档大小：253 KB 资料语言：中文版文档格式：PDF电子文档上传时间：2021-10-17 11:04:47 所属栏目：机械工程

简介
摘要∶在用超精密机床加工V沟槽等微结构时，气浮导轨是保证超精密加工精度和表面光洁度的关键部件之一。'介绍气浮导轨结构及润滑方式的选择，对其拓扑结构进行设计，研究影响承载能力、刚度的因素，建立气体静态数学模型，在雷诺方程和达西定律等理论基础上，建立一维和三维润滑数学模型。从温度、气压、地基等方面综合考虑了V 沟槽超精密加工机床气浮导轨的设计，可确保气浮导轨良好的润滑性能，从而确保机床良好的加工精度。