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电子束加工机床运动系统设计及误差补偿

简介
摘要∶根据电子束加工机床的需要,构建了电子束加工工艺流程,设计了运动系统结构并实现了X和Y方向的二维运动,研究了运动系统驱动原理。完成了基于PC机的控制系统设计,开发出基于串口的上位机控制软件,设计出基于AT8952单片机芯片的下位机。对完成的运动及控制系统进行实验研究并获得误差补偿值。