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GB/T 35307-2017 流化床法颗粒硅

文档大小：312 KB 资料语言：中文版 文档格式：PDF电子文档 上传时间：2021-03-16 14:57:26 所属栏目：国家标准
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简介
GB/T 35307-2017
流化床法颗粒硅
Granular polysilicon produced by fluidized bed method
2018-07-01 实施
2017-12-29发布
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2））共同提出并归口。
 

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