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GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅

文档大小：831 KB 资料语言：中文版 文档格式：PDF电子文档 上传时间：2021-03-16 13:29:51 所属栏目：国家标准
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简介
GB/T 38867-2020
电子工业用四氯化硅
Silicon tetrachloride for electronic industry
2021-02-01实施
2020-07-21发布
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。
 

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