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GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷

文档大小：800 KB 资料语言：中文版 文档格式：PDF电子文档 上传时间：2021-03-16 10:53:55 所属栏目：国家标准
立即下载 硅烷 电子工业 用二氯
简介
GB/T 38866-2020
电子工业用二氯硅烷
Dichlorosilane for electronic industry
2021-02-01实施
2020-07-21发布
本标准按照GB/T1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。
 

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