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GB/T 35310-2017 200mm硅外延片

简介
GB/T 35310-2017
200mm硅外延片
200 mm silicon epitaxial wafer
2018-07-01 实施
2017-12-29 发布
本标准按照 GB/T1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)共同提出并归口。