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GB/T 34972-2017 电子工业 用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

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简介
GB/T 34972-2017
电子工业 用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法
Determination of metal content in gases— Inductively coupled plasma mass spectrometry method
2018-02-01 实施
2017-11-01发布
本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。
 

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