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GB/T 34091-2017 六氟乙烷电子工业用气体

文档大小：2.08 MB 资料语言：中文版 文档格式：PDF电子文档 上传时间：2021-03-10 13:23:40 所属栏目：国家标准
立即下载 乙烷 气体 电子工业
简介
GB/T 34091-2017
六氟乙烷电子工业用气体
Gas for electronic industry—Hexafluoroethane
2017-11-01 实施
2017-07-31 发布
本标准按照 GB/T 1.1-2009 给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出并归口。

 

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