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GB∕T 36969-2018 纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

简介
GB/T 36969-2018
纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
2018-12-28 实施
2018-12-28发布
本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。
本标准由中国科学院提出.
本标准由全国纳米技术标准化技术要员会(SAC/TC279归口.