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GB/T 37213-2018 硅晶锭尺寸的测定激光法

文档大小：432 KB 资料语言：中文版 文档格式：PDF电子文档 上传时间：2021-03-23 10:43:17 所属栏目：国家标准
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简介
GB/T 37213-2018
硅晶锭尺寸的测定激光法
Test method for silicon brick dimension——Laser technology method
2019-11-01实施
2018-12-28发布
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会（SAC/TC 203/SC2）共同提出并归口.
 

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