GB/T 37385-2019 硅中氯离子含量的测定离子色谱法
简介
GB/T 37385-2019
硅中氯离子含量的测定离子色谱法
Test method for chloride content of silicon—Ilon chromatography method
2020-02-01 实施
2019-03-25发布
本标准按照 GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。
GB/T 37385-2019
硅中氯离子含量的测定离子色谱法
Test method for chloride content of silicon—Ilon chromatography method
2020-02-01 实施
2019-03-25发布
本标准按照 GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。
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