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GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语

文档大小：518 KB 资料语言：中文版 文档格式：PDF电子文档 上传时间：2021-03-24 08:56:06 所属栏目：国家标准
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简介
GB/T 38616-2020
纳米定位与扫描平台术语
Terminology for nano positioning and scanning stage
2020-11-01实施
2020-04-28发布
本标准按照GⅣVT 1.1一2009给出的规则起草。
本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会（SAC/TC153）提出并归口。
 

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