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GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝

简介
GB/T 36653-2018
电子级三甲基铝
Electronic grade trimethylaluminium
2018-09-17发布
2019-01-01实施
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。