GB/T 36306-2018 洁净室及相关受控环境空气化学污染控制指南

简介
GB/T 36306-2018
洁净室及相关受控环境空气化学污染控制指南
Cleanrooms and associated controlled environments—Guidelines for airborne chemical contamination control 2018-10-01实施
2018-06-07发布
1范围.................................1
2 规范性引用文件 .............................1
3术语和定义 .............................… 1
4 污染源、分级与分类….............................…2
5 检测.............................2
6 空气化学污染控制……….............................…2
附录A（资料性附录）微电子和光电子领域对空气化学污染物的分级与分类……3
附录B（资料性附录） 气相污染物监测与相关分析测定仪器·……………………………4
附录C（资料性附录）控制化学分子污染设施系统………………………………9
附录D（资料性附录）微电子工业洁净室空气化学污染控制标准………………………………11
参考文献.............................… 15
本标准按照GB/T1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会（SAC/TC319）提出并归口。
 

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