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SJ/T 11505-2015 蓝宝石单晶抛光片规范
简介
SJ/T 11505-2015
蓝宝石单晶抛光片规范
Sapphire single crystal polished wafers specification
2015-10- 01 实施
2015- 04 -30 发布
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009制定的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。
SJ/T 11505-2015
蓝宝石单晶抛光片规范
Sapphire single crystal polished wafers specification
2015-10- 01 实施
2015- 04 -30 发布
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009制定的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。
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