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SJ/T 11495-2015 硅中间隙氧的转换因子指南

文档大小：1.21 MB 资料语言：中文版 文档格式：PDF电子文档 上传时间：2021-07-03 09:31:11 所属栏目：行业标准
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简介
SJ/T 11495-2015
硅中间隙氧的转换因子指南
Guide to conversion factors for interstitial oxygen in silicon
2015-10-01实施
2015- 04- 30 发布
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009制定的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。

 

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