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JJF(沪苏浙皖)4001-2021 微纳米线间隔标准样板校准规范

简介
JJF(沪苏浙皖)4001-2021
微纳米线间隔标准样板校准规范
Calibration Specification for Micro/Nano-Pitch Standards
2022-4-9 实施
2021-8-9 发布
目录
引言………………………………………………………………………………(1)
1范围……………………………………………………………………………(1)
2.引用文献………………………………………………………………………(1)
3.术语……………………………………………………………………………(1)
4·概述……………………………………………………………………………(1)
5…计量特性……………………………………………………………………… (2)