泛结构化微机电系统集成设计方法

文档大小：50.5 MB 资料语言：中文版文档格式：PDF电子文档上传时间：2021-03-22 14:23:43 所属栏目：电力电气

简介
【内容简介】本书提出和建立了泛结构化微机电系统集成设计方法，系统性地论述了其理论体系和关键技术。本方法是在对当前微机电系统集成设计工具的体系结构、基础理论、关键技术及发展趋势等方面进行归纳和总结的基础上，提出的一种新的方法和理论，是对当前通用的微机电系统结构化设计方法的重要发展和提高。依据本方法实现了国产微机电系统集成设计工具（MEMSGarden），并结合大量典型和复杂 MEMS 器件实例验证了本方法和设计工具的实用性和先进性。
本书可供微机电系统相关学科的科研人员参考。