线切割单、多晶硅机床砂浆液调配的研究

文档大小：220 KB 资料语言：中文版文档格式：PDF电子文档上传时间：2021-09-20 12:39:35 所属栏目：机械工程

简介
摘要∶线切割机对硅片切割能力的强弱，与砂浆的粘度有着不可分割的关系。而砂浆的粘度又取决于硅片切割液的粘度、硅片切割液与碳化硅微粉的适配性、硅片切割液与碳化硅微粉的配比比例、砂浆密度等。只有达到机器要求标准的砂浆粘度，才能在切割过程中提高切割效率和成品率。