激光干涉仪测量机床的定位精度

文档大小：761 KB 资料语言：中文版文档格式：PDF电子文档上传时间：2021-10-17 09:40:42 所属栏目：机械工程

简介
摘要∶激光干涉仪如何能快速测量机床的定位精度以及在测量过程中快速调节光路是非常重要的，经过多年的现场检测，总结了一些解决测量机床定位精度时出现的一些问题，并且在实践中摸索出了一些快速调节光路的技巧，以供同行业参考或进一步探讨。

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