光纤接头V型微槽超精密机床的误差预估

文档大小：558 KB 资料语言：中文版文档格式：PDF电子文档上传时间：2021-09-16 09:34:41 所属栏目：机械工程

简介
摘要∶误差预估是超精密机床设计中的重要环节，在系统的设计阶段用来预测和控制规精密机床的总误差。首先介绍了误差预估在超精密机床设计中的重要作用，对本实验室设计制造的光纤接头V型微情超精害机床进行简单介绍，详细说明了均方根（RMS）原则在超精密机床误差预估中的应用并计算得到预估误差值。