微V型槽高精密磨削机床研制

文档大小：962 KB 资料语言：中文版文档格式：PDF电子文档上传时间：2021-10-16 11:04:42 所属栏目：机械工程

简介
摘要∶微V型槽阵列器件是光纤通讯设备的关键结构元件之一。随着光纤通讯技术的发展，利用传统刻蚀和切削的加工方法，已无法满足微V型槽高精度的要求。在分析了微V型槽阵列器件的设计要求，文章提出一种机床方案，基于精密机床的T型布局，采用金刚石成型砂轮，开发专用数控系统实现微V型槽阵列的高精密磨削。采用激光干涉仪对机床性能和定位精度进行测试分析，测得机床Z轴的定位精度误差达到±0.1μm。结果表明，该机床能达到预期的实时运动控制和定位精度要求，并流畅运行，验证了该方案的可行性和有效性。