纳米和微电子机械系统

文档大小：8090 KB 资料语言：中文版文档格式：PDF电子文档上传时间：2021-09-21 13:00:50 所属栏目：机械工程

简介
MicroWriter激光直写系统可实现15路激光同步书写，无需掩模板，，最高分辨率0.6um.速度达375mm2/min，基片尺寸1mm~230mm，高性价比，灵活，快速。适合微电子，半导体等研..

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