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超大规模集成电路工艺学

文档大小：13722 KB 资料语言：中文版 文档格式：PDF电子文档 上传时间：2021-03-14 11:26:26 所属栏目：电子信息
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简介
超大规模集成电路工艺学
上海交通大学
1987

本书讨论了硅集成电路的工艺原理,包括晶体生长和片子制备,外延介质和多晶硅淀积等。

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