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超精密数控机床关键部件发展概况

简介
摘要∶介绍目前数控装置、进给伺服驱动装置、主轴电动机、位置检测和反馈元件、机床导轨等数控机床关键部件的最新研究水平和成果,论述了当今超精密机床关键部件的发展状况。